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SiGlas?硅电容MEMS传感器


基于可变电容测压原理的SiGlas?传感器元件具有超薄的单晶硅膜片,以先进的半导体工艺制造,可测量微小压差。非常小的尺寸和质量使其对位置的敏感度远低于更大更重的金属膜片。作为一种密闭型的传感器,可用于空气流量测量,关键环境控制和泄漏检测系统等多种应用领域。配备SiGlas?传感器元件的微差压变送器具有良好的精度,稳定性和过压能力。


Si-Glas?传感元件由独特的三层结构组成。中间层为仅有几微米厚度的单晶硅膜片,熔接于上下两层特殊材质的玻璃之间。差压测量的基本原理如下图所示。当图中下部压力大于上部压力时,膜片向上弯曲。由于电容值与电容率和作用面积成正比,而与作用距离成反比,因此上部电容值C1增大,而下部电容值C2减小。由此压力差异可以转化为电信号进行处理和输出。

Si-Glas?传感元件使用的硅膜片具有良好的弹性和延展性,金属和晶体通过溅射的方式与硅片牢固结合,因此传感元件具有良好的温度范围和安装位置变化的适应性,具有良好的长期稳定性。这是雅斯科特有的技术,也是确保雅斯科的微差压变送器精确可靠的关键。






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